《GB/T 38341-2019 微機電系統（MEMS）技術 MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》標準

GB/T 38341-2019 是中國國家標準，標題為《微機電系統（MEMS）技術 MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》（Micro-electromechanical systems (MEMS) - Test method for comprehensive environmental reliability of MEMS devices）。

該標準規定了微機電系統（MEMS）器件的可靠性綜合環境試驗方法，旨在評估MEMS器件在不同環境條件下的可靠性和性能。MEMS技術涉及微小機械系統、微電子器件以及傳感器等領域，這些器件在各種應用中都具有重要作用。

一、范圍：
本標準規定了MEMS器件可靠性綜合環境的試驗方法和失效結果處理。
本標準適用于需要進行可靠性試驗的MEMS器件。

二、試驗項目：
高低溫試驗、溫度循環試驗、濕熱試驗、高壓濕熱試驗、沖擊試驗、振動試驗等。

三、試驗設備：
恒溫恒濕試驗箱、PCT加速老化試驗箱、沖擊試驗臺、振動試驗臺等。

四、設備廠商：
環儀儀器

五、試驗程序（部分）：

高壓濕熱試驗：

概述

由于 MEMS器件的工藝、結構和封裝特點，其在溫度﹑濕度作用下可能會出現諸如粘附、大應力等可靠性問題。將處于不帶電工作狀態的待測器件放置于規定的溫度，濕度、壓力環境中可以極大地加速溫度﹑濕度的作用。本試驗是比恒定濕熱加速試驗(見4.2.5)更快的加速方案。

目的

本試驗在器件不帶電工作的情況下確定MEMS器件在溫度、濕度環境下的可靠性。

設備

試驗設備包括一臺能工作在規定溫度、濕度、氣壓下工作的加壓溫濕度試驗箱和4.2.6.4.4中的相關設備。

試驗條件和試驗時間

表7規定了最低試驗溫度、濕度、壓力、在加壓溫濕度試驗箱中所有的待測器件均應達到該溫度﹑濕度，若無其他規定，試驗時間應不小于12 h。宜采用試驗條件A。

樣品檢驗的準備工作

試驗后器件在標準環境中自然散熱和散濕2 h~48 h，一般濕度試驗應在48 h內完成測試，如需延
長放置時間，應將樣品保存在密封袋中，可以延長至96 h，然后在標準試驗條件下進行測試。

通過遵循 GB/T 38341-2019 標準，MEMS器件制造商和相關研究機構可以進行全面的環境試驗，以驗證這些器件在不同環境條件下的性能和可靠性。這有助于提高MEMS器件在各種應用中的穩定性和耐久性，確保它們能夠在復雜的環境中正常工作。